第二五三章 PECVD設備[第4頁/共4頁]

除了這些首要的腔室以外，這個大師夥還整合了供氣體係、排氣體係、除害體係、水循環體係以及一些附件。總得來講，是一套比較龐大的設備。但這套設備對於加工精度的要求並不是那麼高，比起前段時候一機床給宏達電子加工的那台內存顆粒觸點措置機來，這套pecvd設備的加工精度要差的遠了。

裝載腔內裡有二十個格子，內裡能夠一次性盛放二十片基板，全部裝載腔是真空環境，一個真空泵和一個大氣羅茨泵在基板放好了，艙門封閉以後，能夠將全部裝載腔內的氛圍抽出。在裝載腔的內部有和腔室底部的波紋管相通的氮氣管道，是用來節製腔室內基板安排的高度的；另有排氣管道，是用來規複大氣狀況的，彆的另有皮拉尼真空計和b-a真空計。

雖說從技術上來講這個過程在這套設備中是可控的，但隻要完整把握了這套技術的人，才氣夠將這個反應過程節製住。如果你吃不透這套技術的話，那麼你出產出來的設備就冇法將這個過程可控。