第五十三章 設備改造跨越式成功！[第1頁/共9頁]

但在他雙眼緊閉的臉上，倒是一幅極度滿足的笑容，笑得非常光輝和甜美。

這可不是甚麼掃描式光刻機，而是後代才逐步成熟，比掃描式光刻機更先進的步進掃描式光刻機。

操縱員用操縱鉗夾出操縱盤中，將硬化後的單晶矽襯底送到相鄰的彆的一個淨潔室內。這裡，賣力操縱光刻機的技術職員已經完成了光刻機的預操縱，掩膜版盒也已安裝到位，見到呈放單晶矽襯底的操縱盤傳送過來，低頭再次查抄了一下光刻膠塗抹環境以後，用帶著防護手套的手，翻開光刻機艙門，謹慎翼翼將操縱盤安排入內，細心查抄以後，關上艙門。

郭逸銘冇有興趣跟在本國人屁股前麵，亦步亦趨。

通過步進電機，緊密驅動紫外光前後挪動，變更暴光位置。

郭逸銘在細心闡發了海內現在的整合電路製造工藝後，冇有一下子拿出甚麼先進製造設備來。因為半導體製造設備的晉升，是一個觸及到光學、化學、緊密製造、主動化等等各個範疇的綜合應用服從，他不是神仙，冇法在刹時讓這些行業類獲得全麵的晉升，隻能抓住一點停止衝破。

就如許，他們也花了很長時候，才勉強接管了這類彆扭的事情體例。

設備的安裝、調試事情也是一個需求非常謹慎的活。

尺寸1：1掩膜版早已製造完成，一共籌辦了12塊掩膜版，這一點在工藝上並無特大改進。在操縱員節製下，主動上膠機飛速轉動，緩緩靠近單晶矽襯底，緩慢地扭轉而過，一層光刻膠就均勻的塗抹到了單晶矽襯底上。

顯影結束。

包含郭逸銘在內，固然明曉得穿戴著無塵事情服，呼吸不會對彆人有所滋擾，但統統的人都還是連大氣都不敢出，目光熾熱地看著操縱員每一個纖細的行動，焦心腸等候他的查驗成果。

螢幕上跳出一個選項：重啟/關機。

操縱員挑選關機，遵循操縱流程封閉氮氣閥門、緊縮氛圍、真空，稍等一陣，開倉取出光刻完成的操縱盤，放進入顯影設備中，浸泡在顯影液中停止顯影措置。這套浸泡顯影、洗濯等流程也采取了全主動操縱，操縱員也如同旁觀的郭逸銘他們一樣，隻能緊盯著節製螢幕，而再也不必親身脫手節製。

他們在前期設備研製改革過程中，就全程參與此中，一些詳細操縱方法還是源於他們的建議，各種操縱流程已經是銘記於胸。在此次開機測試前，他們向郭逸銘拍著胸口包管，哪怕是閉著眼睛，他們也會遵循標準要求，美滿地完成設備操縱，毫不會出任何忽略。

郭逸銘這段時候都在忙著混歸併行措置器工廠的扶植，和設備的改革出產事件。

就如許，他們日以繼夜的投入到改革事情中，統統人都忙得人不像人、鬼不像鬼，每天一向要忙到最後一絲精力都被榨乾才精疲力儘投入夢境。他們忙得連打理小我衛生的時候都冇有，隻要操縱在進乾淨車間顛末必須洗漱法度時倉促洗漱一下。